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半導(dǎo)體手套箱擇優(yōu)推薦「在線咨詢」
2021-06-18






手套箱功能

1、密閉循環(huán):真空手套箱和氣體凈化系統(tǒng)構(gòu)成一個密閉的循環(huán)系統(tǒng),由氣體凈化系統(tǒng)提供氣體循環(huán)動力。

2、人機對話:配置彩色觸摸屏,中文界面,實現(xiàn)人機對話,操作便捷

3、自動控制(由彩色觸摸屏的人機界面和PLC程序控制系統(tǒng)集成對系統(tǒng)進行控制)

實現(xiàn)功能:手/自動控制箱體壓力;

手/自動控制氣體凈化系統(tǒng)的凈化狀態(tài);

自動控制氣體凈化系統(tǒng)的還原過程;

手/自動凈化系統(tǒng)還原、凈化及轉(zhuǎn)換凈化柱(配置雙凈化柱時);

自動箱體氣氛報警;

箱體內(nèi)氣氛和壓力參數(shù)設(shè)置和手/自動轉(zhuǎn)換;

氣體凈化系統(tǒng)自動控制功能的參數(shù)設(shè)置;

查閱系統(tǒng)歷史紀錄;

氣體凈化系統(tǒng)執(zhí)行機構(gòu)工況檢測;

程序控制系統(tǒng)的操作錯誤和警告提示

想了解更多產(chǎn)品信息,您可撥打圖片上的電話咨詢!艾明坷科技有限公司竭誠為您服務(wù)!








手套箱故障分析

一、風(fēng)機跳閘

1. 檢查設(shè)備是否有溶劑過濾系統(tǒng),觀察與溶劑過濾系統(tǒng)有關(guān)的蝶閥開啟是否正確;

2. 是否風(fēng)機未開啟而設(shè)備已經(jīng)開始工作了?這說明凈化柱上的擋板閥的反饋位置不對;

3. 也可能造成斷路器跳閘或變頻器自保的原因就是負載過大。

二、風(fēng)機出現(xiàn)雜音軸承缺油,需專業(yè)人士拆開風(fēng)機,加油保養(yǎng)。

三、手套箱不斷漏氣

1. 設(shè)備本身密封出現(xiàn)問題,保壓檢漏;

2. 過渡艙艙門未關(guān)嚴;

3. 腳踏是否被東西壓住;

4. 凈化系統(tǒng)管路電磁閥被雜質(zhì)卡住。

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手套箱的日常維護保養(yǎng)

1.要從手套箱內(nèi)取出放在過渡艙內(nèi)的樣品前,須先將過渡艙上的開關(guān)轉(zhuǎn)至“真空”位置,將艙內(nèi)的空氣抽出,再轉(zhuǎn)制“填充”,使干燥潔凈的氣體由手套箱內(nèi)進入過渡艙內(nèi),重復(fù)一、二次之后,即可從手套箱內(nèi)將過渡艙門打開,取出樣品。

2.使用設(shè)備時,禁止佩戴手表、戒指等有可能刺破手套的東西,若使用尖銳物品時,也要格外注意以免刺破手套,指甲過長也有幾率刺破手套。







手套箱常見故障及解決辦法

1、循環(huán)和分析儀同時關(guān)掉

原因:①箱內(nèi)壓力瞬間過高,超過+12mbar,系統(tǒng)自動保護;②電壓不穩(wěn),造成系統(tǒng)保護。

辦法:①檢查壓力設(shè)置是否正確、壓力傳感器是否異常,箱體真空閥或補1氣閥是否損壞,壓力回復(fù)正常后,再開啟分析儀和循環(huán)。②檢查真空泵是否壞掉,無法運行。

2、大、小倉無法補1氣

原因:①手套箱內(nèi)通往大小倉的氣孔可能被塑料薄膜等堵塞;②電磁閥是否沒有打開。

辦法:①根據(jù)管路走向,確定氣孔位置,疏通管路;②檢查線路及電磁閥。

3、大小倉無法抽氣

原因:①大小倉內(nèi)抽氣孔被塑料薄膜等堵塞或艙門漏氣;②倉門沒關(guān)緊,或是大小倉密封圈松動。

辦法:①根據(jù)管路走向,確定氣孔位置,疏通管路;②關(guān)緊倉門,檢查大小密封圈;③檢查工作氣壓是否過低(因為大倉抽氣閥是氣動閥)。







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